来源：新浪基金∞工作室

5月22日，截止午间收盘，半导体设备ETF万家（159327）跌1.72%，报2.976元，成交额2.63亿元。半导体设备ETF万家（159327）重仓股方面，中微公司截止午盘跌3.15%，北方华创跌2.68%，拓荆科技跌2.58%，长川科技跌1.45%，华海清科跌3.26%，沪硅产业跌2.46%，中科飞测跌1.41%，南大光电涨0.48%，安集科技跌1.74%，江丰电子涨2.08%。

半导体设备ETF万家（159327）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为万家基金管理有限公司，基金经理为吴宜蓉，成立（2024-07-24）以来回报为202.69%，近一个月回报为41.53%。

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