截至2026年5月25日 10:50，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨2.39%，成分股盛美上海上涨14.12%，拓荆科技上涨10.02%，三佳科技上涨9.99%，艾森股份，矽电股份等个股跟涨。半导体设备ETF华夏(562590)上涨2.14%，最新价报2.76元。拉长时间看，截至2026年5月22日，半导体设备ETF华夏近1周累计上涨7.43%，涨幅排名可比基金1/5。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）

流动性方面，半导体设备ETF华夏盘中换手率8.65%，成交额3.42亿元。拉长时间看，截至5月22日，半导体设备ETF华夏近1周日均成交额5.95亿元。

规模方面，半导体设备ETF华夏最新规模达39.59亿元。（数据来源：Wind）

资金流入方面，半导体设备ETF华夏近5个交易日内有3日资金净流入，合计“吸金”5.22亿元，日均净流入达1.04亿元。（数据来源：Wind）

截至5月22日，半导体设备ETF华夏近6月净值上涨89.80%。

跟踪精度方面，截至2026年5月22日，半导体设备ETF华夏今年以来跟踪误差为0.013%，在可比基金中跟踪精度最高。

半导体设备ETF华夏(562590)，场外联接(华夏半导体材料设备ETF联接A：020356；华夏半导体材料设备ETF联接C：020357)。

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