来源：市场资讯

（来源：昊志机电）

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从硅锭到晶圆，再到承载数百亿晶体管的芯片，要经历数百道精密工序。其中晶圆背面减薄、晶圆切割是芯片后道加工中的两大核心工序，技术壁垒极高，长期由海外品牌主导。更具挑战的是，晶圆正趋向更薄（<100μm）、更大尺寸（12英寸）、更硬材料（SiC/GaN），技术门槛持续攀升。而近年来美国《芯片法案》等外部管控持续收紧，层层加码的技术限制，让芯片产业链的自主可控迫在眉睫，国产替代已从“可选项”转变为“必选项”。

如今，这些核心技术关卡正被以昊志机电为代表的本土精密制造力量逐步突破、稳步攻克。

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背面减薄：把晶圆“磨”到极致

晶圆背面减薄是将晶圆研磨至封装工艺所需厚度，但该工艺极易出现晶圆碎裂、翘曲以及表面磨削损伤等问题，且晶圆尺寸越大、目标厚度越小，加工难度也随之攀升。

昊志机电超精密晶圆研磨电主轴：以三重硬核技术守住良品率

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  • 纳米级控制：主轴全转速振动≤0.1mm/s，轴向刚度800N/μm，径向刚度200N/μm，回转运动误差低至20纳米，使得12英寸工件研磨后表面TTV<3μm，粗糙度Ra<0.02μm，保障高质量加工。

  • 高性能电机：主轴配备高性能交流永磁同步电机，连续额定输出扭矩可达18N·m，强劲扭力轻松应对碳化硅等超硬材料的加工需求。

  • 高效冷却系统：三段式冷却结构，温升小，热稳定时间≤20min，热伸长波动≤100nm。非接触式轴芯中心出水结构和砂轮冷却流道同时冷却轴芯和砂轮，减少因温度波动导致的加工误差。

昊志机电晶圆研磨（背面减薄）电主轴参数

主轴型号

DQFX-16506/8.5

DQFX-20904/7.5

直径

Φ165mm

Φ208.5mm

最高转速

6000 rpm

4000 rpm

砂轮尺寸

200mm/8 英寸

300mm/12 英寸

轴承类型

气浮轴承

最大频率

400Hz

266Hz

电机类型

同步

额定电压

220V

输出功率S1 100%

8.5kW

7.5kW

输出功率S6 40%

12.75kW

11.25kW

输出扭矩S1 100%

13.5N·m

18N·m

输出扭矩S6 40%

20.3N·m

27N·m

额定电流S1 100%

27A

23.5A

额定电流S6 40%

40.5A

32.5A

气流量

76-84L/min（气压 0.6MPa）

60-90L/min（气压 0.65MPa）

冷却方式

水冷

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晶圆切割：芯片“分身术”的极致挑战

将加工完成的晶圆精准切割成数千颗独立芯片，切割道的宽度、边缘的完整性，与芯片良品率密切相关。

昊志机电气浮划片机电主轴：速度与精度的平衡

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  • 高刚度：主轴采用创新性结构设计，刚度与承载力较市场同类产品显著提升14.3%，能够满足硅晶圆、封装基板、石英玻璃和陶瓷等材料的加工需求。

  • 高精度：采用高精度接口设计，锥面跳动≤0.5μm，刀座装刀面的径向跳动和轴向窜动均≤1μm，主轴连续加工时伸长量波动≤0.3μm，达到国际先进水平。

  • 高可靠性：优化提升主轴防水、防尘性能，电机防护等级IP67，采用优质碳刷材质，实现连续工作时长6525小时。

昊志机电划片机（晶圆切割）电主轴参数

型号

DQFH-02360/1.8

DQFH-02440/2.5

最高转速

60000 rpm

刀具接口

通用刀座

轴承类型

气浮轴承

最大频率

1000 Hz

电机类型

同步

额定电压

220 V

输出功率S1 100%

1.8 kW

2.5 kW

输出功率S6 40%

2.2 kW

3.75 kW

输出扭矩S1 100%

0.25 N·m

0.4 N·m

输出扭矩S6 40%

0.3 N·m

0.6 N·m

额定电流S1 100%

5.1 A

7.5 A

额定电流S6 40%

6.1 A

11.3 A

气流量

90-102 L/min

82-90 L/min

冷却方式

水冷

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从“备选”到“首选”，国产主轴凭什么？

在半导体产线中替换核心部件，向来是“高风险决策”。昊志机电能从“备选”走向“首选”，靠的是硬实力。

▌先看业绩：高速增长，市占率第一

  • 2025年营收15.95亿元，同比增长22.04%；2026年一季度营收4.96亿元，同比大幅增长72.88%。

  • 主轴业务2026年一季度收入3.29亿元，同比增速高达91.60%。

  • 近三年全球电主轴市占率第一。

  • 研发投入长期占营收8%以上，研发团队超380人，累计授权专利852项，持续技术积累与高强度研发投入，是半导体客户最看重的“信任底牌”。

▌再看战略定位：二十年深耕，长期主义

昊志机电自2006年起专注于中高端数控机床、机器人、新能源汽车核心功能部件的研发设计、生产制造、销售与维修服务，成功突破“超精密气浮高速电主轴”、“空气轴承高速电主轴”等核心技术。其“高档数控机床高速精密电主轴关键技术及应用”项目获2022年广东省科技进步一等奖，补齐了国内高档数控机床核心功能部件缺失的行业短板，带动国内电主轴行业进步，实现国产替代。

对于半导体客户而言，选型不是一次性决策，而是长期合作关系。客户需要的不仅是一根好主轴，更是一个能持续迭代、持续优化的长期伙伴。

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结语：精密背后的中国力量

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从微米到纳米的精度追求，从实验室到产线的技术落地，昊志机电在半导体主轴领域的突破，折射出中国精密制造正在完成从“可用”到“好用”再到“优选”的关键转变。