5月26日，半导体设备ETF国泰（159516）盘中流入10.42亿份，国产设备零部件升级进程受关注。

爱建证券指出，国产半导体设备向7nm及以下先进制程突破的过程，本质上也是零部件同步升级的过程。AI需求推动半导体设备行业进入新一轮增长周期，先进封装、AI芯片互联等技术方向持续受到产业关注。先进制程对材料纯度、加工精度等提出更高要求，推动零部件持续向高精度、高洁净度及高可靠性升级。核心零部件在设备成本中占比较高，持续受益于先进制程及多腔化升级。存储扩产+设备多腔化趋势有望持续提升设备单机价值量、单位腔体密度以及核心零部件价值占比，进一步放大半导体设备零部件环节的业绩弹性。半导体设备行业扩容叠加供应链重构，国产零部件企业有望持续提升份额。根据SEMI，2025年全球半导体制造设备总销售额达1351亿美元，预计2026年、2027年将继续攀升。中国半导体设备零部件企业在先进制程核心环节的国产化进程中持续突破。

半导体设备ETF国泰（159516）跟踪的是半导体材料设备指数（931743），该指数聚焦于科创板内涉及半导体材料和设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映半导体产业链上游相关上市公司证券的整体表现。

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