2026年5月26日，科创半导体设备ETF鹏华(589020.SH)收跌1.74%，成交3.15亿元。净流入9433.60万元（净申购份额*单位净值），居全市场第一梯队。

拉长时间看，该基金近5个交易日有3天资金净流入，合计吸金4.41亿元，居可比基金前三。

资金流入也助力了份额的提升，该基金最新份额较前一日增加4400.00万份，突破5.30亿份。与此同时，该基金最新规模突破11.00亿元。