国家知识产权局信息显示,硅来半导体(武汉)有限公司申请一项名为“碳化硅晶圆的裂片方法、系统及碳化硅晶圆的制造方法”的专利,公开号CN122094425A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本申请公开一种碳化硅晶圆的裂片方法、系统及碳化硅晶圆的制造方法。该裂片方法包括以下顺序执行的步骤:预裂步骤:对已完成内部激光改质层扫描的碳化硅晶锭,通过第一超声场引导并延展改质层内的微裂纹;成面步骤:采用第二超声场将经延展的裂纹在改质层平面内连接贯通,形成连续的分离界面;分离步骤:施加分离作用力,使晶圆沿连续的分离界面与晶锭本体分离。本申请技术方案通过引导延展-连接成面-温和分离的三步法,实现超声能量的分步精准施加,能够有效降低晶圆崩边与微裂风险,提高晶圆分离良率。
天眼查资料显示,硅来半导体(武汉)有限公司,成立于2024年,位于武汉市,是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本155.5556万人民币。通过天眼查大数据分析,硅来半导体(武汉)有限公司参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息3条。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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