国家知识产权局信息显示，克洛泽（厦门）仪器设备有限公司申请一项名为“一种具有保护晶圆功能的薄膜沉积设备及工艺”的专利，公开号CN122105362A，申请日期为2026年3月。

专利摘要显示，本发明属于薄膜沉积技术领域，具体的说是一种具有保护晶圆功能的薄膜沉积设备及工艺，包括壳体、工作台、气帘隔离组件、防颗粒供气组件；所述气帘隔离组件包括环形气槽；所述工作台顶部均布有一组气嘴；所述防颗粒供气组件包括导气盘；所述导气盘顶部连通有导气柱；所述导气柱顶部连通有输送口；所述导气盘底部固定连接有异形罩；所述异形罩表面均布有一组导孔。导气盘内壁产生的微小固体颗粒杂质脱落后通常会被阻拦于异形罩上侧，很难通过导孔落在晶圆表面，对晶圆提供保护，将潜在的颗粒杂质与晶圆表面进行有效隔离，降低了颗粒污染晶圆的风险，为晶圆的高质量薄膜沉积提供了额外的保护屏障。

天眼查资料显示，克洛泽（厦门）仪器设备有限公司，成立于2014年，位于厦门市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，克洛泽（厦门）仪器设备有限公司参与招投标项目17次，专利信息1条，此外企业还拥有行政许可8个。

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作者：情报员