之前不少人都说,咱们中国芯片被卡脖子,没了EUV根本造不出先进芯片。这话放在今天,真得彻底改改了。咱们国产DUV光刻机都已经量产交付了,不用等EUV就能搞定7纳米级别芯片,这波突破比很多人预想的来得更快更猛。
外部技术管制越收越紧,反而逼得咱们国内半导体设备加速突破。上海微电子的SSA800浸润式DUV光刻机,早就完成交付了。现在已经送到中芯国际、华宏集团这些国内晶圆厂做工艺验证,能适配28纳米成熟制程芯片生产。别小看28纳米,现在它可是全球芯片出货的绝对主力,市场占比超过九成。
新能源汽车里的功率芯片,智能家电的控制芯片,工业生产用的工控芯片,绝大多数都用的是这个制程。Gartner预测过,2026年全球半导体行业总收入会突破1.32万亿美元,成熟制程就是撑着整个行业出货量的核心。能完全自主掌握28纳米相关技术,不管是产业价值还是战略价值,都高得超乎想象。
有了国产DUV设备,再配合多重曝光工艺,中芯国际已经顺利实现了制程延伸,能完成7纳米级别芯片的制造,工艺良率还比之前稳步提升。这套技术对套刻精度要求特别严苛,得靠刻蚀、薄膜沉积等多类国产设备协同配合才能做下来。从成本来看,咱们国内造7纳米芯片,已经有了明显的价格优势。
看中芯国际2025年的公开数据,全年销售额达到93.27亿美元,同比增长了16.2%,本土客户的营收占比已经到了85.6%。国内庞大的内需市场,现在已经成了中芯国际稳定发展的最坚实靠山。不用看海外客户脸色,咱们就能闷头搞研发磨技术。
这么多年的技术攻关不是白熬的,现在国内半导体四大核心设备环节,全都实现了规模化应用。完整的国产设备生态已经初步成型,这点真的太重要了。现在国内新建的晶圆产线里,国产设备的采购金额占比已经达到了55%,过半份额都拿到了,这就是最硬的底气。
各个细分赛道现在也不断出亮点,中微公司的5纳米刻蚀机已经打进了先进制程产线,圣美半导体的清洗设备在28纳米产线一直保持着很高的利用率。薄膜沉积类设备,也在主流存储工厂持续扩容,一步一步抢占原来海外厂商的市场。
现在咱们国内的芯片产线,已经有了完全自主可控的设备备选方案。之前海外供应链一波动,咱们就得跟着慌,现在这种影响已经被大幅降低了。本土产业链整体崛起,直接给海外老牌设备厂商带来了不小的冲击,原来垄断市场赚大钱的日子,一去不复返了。
尼康2025财年就出现了大额亏损,光刻机业务的出货量锐减,连核心生产工厂都关停了,市场竞争力大幅衰退。ASML在咱们中国的市场份额也明显下滑,浸润式DUV设备的出货量一直在降,来自中国市场的营收受到了直接冲击。国内客户都在加速替换国产设备,海外厂商原来的传统盈利空间,被挤得越来越小。
大家最关心的EUV光刻机前沿领域,咱们国内研发也拿到了阶段性成果。深圳的联合研发团队,已经成功组装并点亮了EUV光刻机原型机,走的是LDP技术路线,能够稳定产生13.5纳米的极紫外光。目前原型机的光源输出功率还没达到商用标准,距离正式落地商用还有一段技术攻关的路要走。业内预估,国产EUV设备有望在2028年前后逐步推向市场。
外界对咱们的技术限制越强,咱们国产替代的速度反而越快。本土设备厂商靠着国内庞大的内需市场打磨技术,不断迭代更新产品。原来那种咱们只能单一依赖海外设备的全球半导体供应体系,已经开始发生改变。
整个行业现在逐步走向了多元并存的新格局,国产半导体设备从成熟制程到前沿技术,一直在稳步迈进。咱们在全球半导体行业的产业话语权,也在持续提升。这波稳扎稳打的突破,比什么虚头巴脑的概念都来得更扎实。
参考资料:人民日报 中国半导体产业自主创新发展纪实
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