证券之星消息，6月2日，半导体设备ETF华夏基金（562590）涨1.82%，成交额4.75亿元。当日份额减少了7800万份，最新份额为14.27亿份，近20个交易日份额增加6500万份。当日资金净流出1.26亿元（资金流向是当日计算的资产净值和上一交易日计算的资产净值相减得出的），最新资产净值计算值为35.08亿元。半导体设备ETF华夏基金跟踪标的为中证半导体材料设备主题指数，成立（2023-10-09）以来超额回报为-1.99%，近一个月超额回报为-0%，管理人为华夏基金公司，基金经理为单宽之。