2026年中国电子级二氟甲烷市场专项调研及企业十五五规划建议报告|中国电子信息产业集团|二氟甲烷|刺激性气味|十五五规划|甲醛|臭氧|调研

多家企业进行产能布局有效助推我国电子级二氟甲烷市场国产化发展步伐

二氟甲烷，化学式为CH2F2，其分子结构中不含氯元素，具有零臭氧消耗潜值和相对较低的全球变暖潜能值，是一种绿色环保型含氟气体，主要用作制冷剂和蚀刻气体，制备工艺包括二氯甲烷氟氯交换法、甲醛氟化法和三噁烷法等。电子级二氟甲烷是一种高纯度的二氟甲烷产品，可应用于晶圆制造中的等离子蚀刻工艺、化学气相沉积（CVD）设备的腔室清洗、含氟功能薄膜沉积等场景。
电子级二氟甲烷的生产通常以工业级二氟甲烷为原料，经过深度纯化工艺制得。2023年5月，中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司取得一项“一种电子级二氟甲烷的纯化装置及其纯化方法”专利，该发明得到的电子级二氟甲烷纯度大于99.998wt%，水含量小于5ppm，杂质总量不超过20ppm。
当前，日本、欧洲等仍是全球电子级二氟甲烷市场主产区。我国电子级二氟甲烷行业已形成以中游专业气体生产企业领导和氟化工企业为核心的生产梯队，产能水平持续提升。中巨芯科技、福建德尔科技、山东东岳绿冷科技（东岳集团旗下公司）、昊华气体、中船派瑞等是我国电子级二氟甲烷市场主要参与者。
根据新思界产业研究中心发布的《2026年中国电子级二氟甲烷市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》显示，2025年5月，山东东岳绿冷科技“500吨/年含氟电子特气项目”环评受理公示，其中电子级二氟甲烷年产能为200吨；2025年12月，昊华科技“半导体用刻蚀气项目”环评受理公示，其中电子级二氟甲烷年产能为60t/a。随着相关企业积极推进产能项目建设，我国电子级二氟甲烷行业产能规模不断扩大，有效匹配下游市场需求。
为规范电子级二氟甲烷行业生产和应用，我国出台了多项相关标准，包括团体标准《电子工业用气体二氟甲烷（T/CHBAS 50-2023）》《集成电路用气体二氟甲烷（T/ICMTIA ESG0019-2023）》、企业标准《电子工业用气体二氟甲烷（Q/FJDR.013-2023）》等。
新思界行业分析人士表示，芯片制程不断微缩，市场对蚀刻工艺的精度要求将持续提高，将推动电子级二氟甲烷生产商在纯化技术和杂质分析精度方面进行持续资本和技术投入。随着半导体行业快速发展，电子级二氟甲烷作为含氟特种气体，市场需求具有显著释放空间。同时，国家半导体产业链自主可控战略深入实施、国内企业技术实力持续积累，正在共同推动我国电子级二氟甲烷行业进入国产化加速落地期。