证券之星消息，6月3日，半导体设备ETF广发基金（560780）涨2.6%，成交额5.28亿元。当日份额减少了7500万份，最新份额为17.16亿份，近20个交易日份额增加1400万份。当日资金净流出7855.97万元（资金流向是当日计算的资产净值和上一交易日计算的资产净值相减得出的），最新资产净值计算值为45.33亿元。半导体设备ETF广发基金跟踪标的为中证半导体材料设备主题指数，成立（2023-12-01）以来超额回报为14.54%，近一个月超额回报为0.05%，管理人为广发基金公司，基金经理为吕鑫。