国家知识产权局信息显示,默克专利有限公司申请一项名为“抗蚀剂组合物以及使用其来制备抗蚀剂膜的方法”的专利,公开号CN122162092A,申请日期为2024年11月。
专利摘要显示,提供了一种矩形度得到改善的抗蚀剂组合物。一种抗蚀剂组合物,包含:含有酸解离基团的聚合物(A)和由式(I)表示的化合物(B)。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
国家知识产权局信息显示,默克专利有限公司申请一项名为“抗蚀剂组合物以及使用其来制备抗蚀剂膜的方法”的专利,公开号CN122162092A,申请日期为2024年11月。
专利摘要显示,提供了一种矩形度得到改善的抗蚀剂组合物。一种抗蚀剂组合物,包含:含有酸解离基团的聚合物(A)和由式(I)表示的化合物(B)。
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