国家知识产权局信息显示,中电科风华信息装备股份有限公司申请一项名为“晶圆定位检测方法和晶圆定位检测系统”的专利,公开号CN122161401A,申请日期为2026年3月。

专利摘要显示,本申请提供一种晶圆定位检测方法和晶圆定位检测系统,涉及半导体技术领域,包括驱动晶圆在机台上以预设路径运动;启动扫描采集卡获取激光束照射晶圆表面的反射光,由预设起点以阿基米德螺旋线上散点形式采样晶圆表面信息并缓存为扫描图像,扫描图像包括扫描晶圆的边缘范围的边缘图像;当边缘图像的晶圆表面信息完全覆盖晶圆的边缘范围,根据缓存的边缘图像,得到晶圆的校准偏差值,将晶圆的当前位置坐标校准为校准位置坐标;对扫描图像进行转换并将转换后的扫描图像进行拼接,得到校准位置坐标下的晶圆扫描图像,从而能够在同一个扫描过程中实现晶圆对准校正和晶圆缺陷检测,显著提高晶圆检测效率。

天眼查资料显示,中电科风华信息装备股份有限公司,成立于1998年,位于太原市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本9736.4032万人民币。通过天眼查大数据分析,中电科风华信息装备股份有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目317次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息309条,此外企业还拥有行政许可13个。

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作者:情报员