国家知识产权局信息显示，洛阳理工学院；深圳市容微精密电子有限公司申请一项名为“一种MEMS探针激光刻蚀方法、装置及MEMS探针”的专利，公开号CN122142551A，申请日期为2026年5月。

专利摘要显示，本发明涉及MEMS探针技术领域，公开了一种MEMS探针激光刻蚀方法、装置及MEMS探针，其中，该方法包括：对探针材料进行单脉冲烧蚀试验，测定单脉冲安全烧蚀深度及对应的首道基准脉冲能量并建立逐道递减公式；将激光输出能量调制至首道基准脉冲能量，对探针材料执行第1道飞秒脉冲扫描刻蚀，计算第二能量递减率；基于逐道递减公式和第二能量递减率计算第2道至第N道的单脉冲能量，在道间冷却等待后依次执行第2道至第N道扫描刻蚀，每执行第i道扫描时将单脉冲能量按逐道递减公式递减并将脉冲重复频率按递增系数递增，依次完成第2道至第N道的扫描刻蚀，该方法解决了传统单一能量扫描导致的尖端过烧和根部欠烧问题。

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作者：情报员