国家知识产权局信息显示，星奇（上海）半导体有限公司申请一项名为“半导体流控部件流量系数调节装置”的专利，公开号CN122170248A，申请日期为2026年5月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体制造技术领域并公开了一种半导体流控部件流量系数调节装置及半导体流控部件，包括壳体和操作杆，壳体内具有通道，通道具有开口端，壳体上设有与通道连通的通孔，壳体靠近开口端的一端可与气动执行器的通气口密封连接，通孔通入气体可驱动气动执行器执行通断动作，操作杆置于通道内，且两端贯穿通道设置，操作杆的一端为由开口端穿出至位于壳体外部的操作端，操作杆相对壳体可伸缩移动，以使操作端插入气动执行器内并与流量调节螺母相匹配连接，操作杆可绕其自身轴线方向旋转以带动流量调节螺母同步转动，实现流量调节。本发明实施例的半导体流控部件流量系数调节装置实现调节和测试同时进行，提高调节便利性。

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作者：情报员