国家知识产权局信息显示,应用材料公司申请一项名为“用于寻找基板凹口的信号处理”的专利,公开号CN122206533A,申请日期为2024年11月。
专利摘要显示,一种凹口寻找装置,此装置包括传感器,此传感器用于生成取决于所述传感器的感测区域被基板覆盖的比例的信号;以及控制器,此控制器配置以使导致致动器相对于所述基板定位载体头,而所述基板具有所述传感器的所述感测区域在所述基板的边缘处,所述控制器导致马达在所述载体头和所述传感器之间生成相对运动,使得所述传感器的所述感测区域沿着所述基板的圆周扫描,并且基于来自所述传感器的初始信号来检测所述基板所述边缘中凹口的角位置,包括根据所述初始信号来产生二阶或更高阶的导数信号。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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