国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“基板处理装置”的专利，公开号CN122224642A，申请日期为2025年10月。

专利摘要显示，本发明涉及一种对基板进行等离子体处理的基板处理装置，稍更详细地涉及一种在处理空间产生磁场的电磁体单元的线圈模组全部连接于直流电源和交流电源而形成控制等离子体的磁场和使磁化的配件消磁(Demagnetization)的磁场的基板处理装置以及基板处理方法。

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作者：情报员