国家知识产权局信息显示，PSK控股公司申请一项名为“基于激光的卡盘加热装置以及卡盘加热方法”的专利，公开号CN122228757A，申请日期为2024年8月。

专利摘要显示，本发明公开了一种可利用激光来有效且高效地加热卡盘的基于激光的卡盘加热装置以及卡盘加热方法。根据本发明的实施例的基于激光的卡盘加热装置，其包括：支撑卡盘，设置成支撑基板并具有吸光部，所述吸光部包括用于吸收激光的光能的吸光材料；以及卡盘温度控制装置，通过将激光照射到吸光部并将激光的光能被吸光材料吸收来控制支撑卡盘的温度，所述激光具有根据吸光材料的最大吸光率而设定的波长。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

本文源自：市场资讯

作者：情报员