国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“工艺腔室温度控制方法、功率调节装置及半导体工艺设备”的专利，公开号CN122227939A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本发明提供了工艺腔室温度控制方法、功率调节装置及半导体工艺设备，其中，每根灯管均设置有第一系数和第二系数集合，第二系数集合包括多个第二系数，根据功率设定值和当前功率值确定加热元件所需的功率输出值，并针对每一根灯管，根据当前温度值和第二系数集合确定对应的第二目标系数；根据功率输出值、每根灯管对应的第一系数以及每根灯管对应的第二目标系数生成每根灯管对应的控制信号，以根据控制信号驱动灯管工作。这种控制方式，根据功率输出值、每根灯管的第一系数和第二目标系数生成该灯管对应的控制信号，以便根据控制信号驱动灯管工作，实现了每根灯管的独立动态调节，提升了温场分布均匀性，从而提升了快速退火工艺的稳定性。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1434次，财产线索方面有商标信息75条，专利信息5850条，此外企业还拥有行政许可340个。

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作者：情报员