国家知识产权局信息显示,美商耀德系统股份有限公司申请一项名为“具有自动加工控制的湿法加工”的专利,公开号CN122250207A,申请日期为2024年9月。

专利摘要显示,湿法加工的系统和方法包括接收指示湿法加工罐中的液体化学品的pH、温度和电导率中的一个或多个的实时信号,以及确定将改善或维持湿法加工罐中的液体化学品的蚀刻速率的液体化学品的组成、流速和温度中的一个或多个的值。然后可将湿法加工罐中的液体化学品的组成、流速和温度中的一个或多个调节到确定的值。

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作者:情报员