国家知识产权局信息显示，三星显示有限公司取得一项名为“等离子体处理装置”的专利，授权公告号CN224384248U，申请日期为2025年5月。

专利摘要显示，提供了等离子体处理装置。根据实施例的等离子体处理装置包括：腔室，在腔室中执行等离子体处理；射频天线，该射频天线连接到射频电源；介电窗，该介电窗布置在射频天线与腔室之间；第一法拉第屏蔽件，该第一法拉第屏蔽件布置在腔室上并且包括第一部分和第一开口；以及第二法拉第屏蔽件，该第二法拉第屏蔽件布置在腔室的内部并且包括第二部分和第二开口。第一开口和第二开口沿垂直方向以交错方式交替地布置。

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作者：情报员