国家知识产权局信息显示，洛阳理工学院、深圳市容微精密电子有限公司申请一项名为“一种探针校准方法以及探针控制设备”的专利，公开号CN122238967A，申请日期为2026年5月。

专利摘要显示，本申请涉及探针校准技术领域，公开了一种探针校准方法以及探针控制设备，该方法包括：控制探针台三轴移动并同步采集激光干涉仪干涉条纹变化数与编码器位移读数，计算三维误差补偿查找表；采集标准校准片图像上的Mark点像素坐标并进行仿射变换，得到坐标变换矩阵；根据坐标变换矩阵控制探针阵列中多个探针对标定点执行位置偏差拟合，得到系统误差函数；根据目标物理坐标查询三维误差补偿查找表，得到编码器系统偏差，并将目标物理坐标代入系统误差函数得到探针几何偏差；将编码器系统偏差与探针几何偏差叠加至目标物理坐标得到补偿后的控制坐标并发送至运动控制器，驱动探针台移动至目标位置，完成探针定位，进而提高了探针定位精度。

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作者：情报员