国家知识产权局信息显示,浙江载力科技有限公司取得一项名为“一种掩膜版和晶圆的对位调平装置”的专利,授权公告号CN224399738U,申请日期为2025年7月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种掩膜版和晶圆的对位调平装置,包括有模块箱;U型框,所述U型框设置在所述模块箱上端;三角插槽,所述三角插槽设置在所述U型框的上;活动板,所述活动板滑动连接在所述三角插槽内;贯穿孔,所述贯穿孔贯穿设置在所述活动板的上端;所述活动板下方设置有三个弹片;所述弹片的一端转设置有球体;所述弹片上设置有齿轮;所述活动板上设置有伸缩气缸,所述伸缩气缸的移动端上齿条。能够对晶圆的姿态进行多向调整。从侧面插入U型框中,便于观察位置;插入过程中更加平稳,防止光刻胶被污染。球体设置在弹片末端,球体具有活动裕度,防止球体运动至掩膜版下端的过程中与掩膜版发生刮擦。
天眼查资料显示,浙江载力科技有限公司,成立于2014年,位于杭州市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江载力科技有限公司共对外投资了2家企业,财产线索方面有商标信息4条,专利信息68条,此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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