国家知识产权局信息显示,江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种静电吸盘的检测装置”的专利,公开号CN122259968A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,一种静电吸盘的检测装置,涉及电学性能检测技术领域,该检测装置包括:测试腔室、机架、冷却装置、真空泵、电阻检测电路、温度检测电路和控制器;测试腔室用于放置和测试静电吸盘,机架用于支撑和安放测试腔室,以及当测试腔室测试静电吸盘时为静电吸盘和测试腔室提供电源;真空泵用于为测试腔室提供真空环境;冷却装置用于当测试腔室测试静电吸盘时调节静电吸盘的温度;电阻检测电路和温度检测电路位于测试腔室内;控制器,用于控制电阻检测电路以获取静电吸盘的阻抗参数;和,通过控制温度检测电路使静电吸盘上的多个加热单元发热,以获取静电吸盘的温度数据。利用该装置,提升了ESC检测时的检测效率,降低了误操作的概率。
天眼查资料显示,江苏鲁汶仪器股份有限公司,成立于2015年,位于徐州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本19584.6238万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目269次,财产线索方面有商标信息35条,专利信息523条,此外企业还拥有行政许可14个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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