国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种深硅刻蚀进气机构”的专利，公开号CN122267042A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本发明公开了一种深硅刻蚀进气机构，包括套设在一起的中心匀气盘和二次进气盘，所述中心匀气盘上设置有中心进气盘；所述中心进气盘上设置有第一进气孔和第二进气孔，所述中心匀气盘上设置有第一连通孔，所述第一进气孔与第一连通孔连通，所述第一连通孔用于对晶圆垂直喷气；所述二次进气盘上设置有二次进气孔，所述二次进气孔通过第二连通孔与第二进气孔连通，所述第二连通孔设置于所述中心匀气盘上，所述二次进气孔用于向所述二次进气盘的侧面喷气。本发明的深硅刻蚀进气机构，提高了晶圆的刻蚀速率，刻蚀的均匀性更好。

天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本19584.6238万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目269次，财产线索方面有商标信息35条，专利信息523条，此外企业还拥有行政许可14个。

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作者：情报员