国家知识产权局信息显示,北京特思迪半导体设备有限公司取得一项名为“防进液压头及单面抛光机”的专利,授权公告号CN224407220U,申请日期为2025年7月。
专利摘要显示,本申请提供一种防进液压头及单面抛光机,涉及晶圆加工的技术领域,防进液压头包括:基座,内部设置有第一导气通道;压盘机构,可升降地设置于基座的下方,压盘机构的底面具有按压区域,压盘机构的底面在按压区域的周向外开设有阻液腔,压盘机构内部设置有与阻液腔相连通的第二导气通道;加压机构,设置于基座与压盘机构之间,用于带动压盘机构升降以及调整施加于晶圆的压力;连接管道,设置为柔性管并具有适应于压盘机构位移的伸缩余量,连接管道的两端分别与第一导气通道和第二导气通道相连通;通过向第一导气通道内充入气体,使阻液腔在晶圆的周向外形成保护气膜。解决了相关技术中抛光液容易被吸入至压头的内部而造成晶圆面型发生异常的问题。
天眼查资料显示,北京特思迪半导体设备有限公司,成立于2020年,位于北京市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1656.925954万人民币。通过天眼查大数据分析,北京特思迪半导体设备有限公司参与招投标项目127次,财产线索方面有商标信息32条,专利信息185条,此外企业还拥有行政许可20个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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