半导体工艺冷却水 PCW 系统涵盖冷源、循环稳压、管网分配、水质处理等多单元，管路、换热器、水泵长期承压易渗水漏液。冷却水泄漏会造成精密机台温控失效、电气短路停机，带来设备损坏与产能损失。针对 PCW 系统漏液管控痛点，祥为测控拥有成熟落地的专属漏液监测方案，适配全工段冷却管路风险点位，前置预警漏液隐患。

打开网易新闻 查看精彩图片

系统架构

  • 传感层：配备绳式、带式感应线缆，支持漏点定位，适配机组、水箱、管网等漏液点位。
  • 监测层：部署定位测漏控制器，采集传感信号并本地告警，经 RS485 上传数据；系统支持漏液报警、漏液位置定位、断线报警等功能，消除监测盲区。
  • 集中监控层：区域主控系统通过 TCP/IP 汇总各控制器数据，实现分区统一管理。
  • 通讯层：交换机搭建传输链路，打通前端设备与上层平台的数据通道。
  • 平台层：对接漏液预警平台与厂区 FMCS 系统，全厂漏液数据可视化集中管控。

适用场景

核心适配整套 PCW 工艺冷却水系统，覆盖冷源、循环稳压、管网分配、水质处理全部单元；同时兼容洁净室、二次配、化学品系统等全厂各类流体工段统一组网监测。

配套产品

主控制器：XW-SH2-CSH0，同时可接入32台子控制器，具备漏液、断线报警输出，通过 TCP/IP 汇总各点位漏液监测设备数据，分区统一管理全厂漏液情况；

主控制器
打开网易新闻 查看精彩图片
主控制器

定位测漏控制器：XW-SC2-00H1：采集线缆信号，具备漏点定位、告警、数据上传功能；

漏液检测带：定位绳式感应线XW-SS2-10H0、薄膜泄漏感应线 XW-SS2-10T1，适配各类管路工况。

漏液检测系统
打开网易新闻 查看精彩图片
漏液检测系统

祥为PCW 工艺冷却水漏液监测方案专为PCW冷却水系统场景定制，工业级设备抗干扰能力强，采用标准协议接入厂区FMCS体系，实现一体化监测。系统可实时监测液体泄漏并精准定位，及时处理漏液情况，避免漏液损坏精密设备、导致设备宕机、生产停滞等风险，保障冷却系统长期稳定、安全运行，实时在线护航半导体厂房的生产。