国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种薄膜沉积方法”的专利，公开号CN122303816A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本申请公开了一种薄膜沉积方法，涉及镀膜工艺领域，薄膜沉积方法包括：将晶圆基底放置于镀膜设备的工艺腔室内的载台表面上；工艺腔室内放置有位置固定的靶材以及主源；通过主源出射的第一离子束轰击靶材，形成溅射粒子，以及基于溅射粒子，在晶圆基底的表面形成沉积薄膜；其中，在晶圆基底表面沉积薄膜的过程中，调整晶圆基底的位置，以使得晶圆基底表面上形成具有不同厚度的沉积薄膜。本申请还可以通过调整辅助源的气体流量，以调整沉积薄膜在厚度方向上的组分。本申请实施例技术方案可以在同一晶圆基底上，通过同一工艺流程制备不同厚度以及组分变化的薄膜。

天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本19584.6238万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目271次，财产线索方面有商标信息36条，专利信息530条，此外企业还拥有行政许可14个。

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作者：情报员