国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“射频输出确定装置及包括该装置的基板处理装置”的专利，公开号CN122314732A，申请日期为2025年10月。

专利摘要显示，本发明提供了一种射频输出确定装置及包括该装置的基板处理装置，能够在采用高功率的基板处理装置中补偿电力损耗。所述射频（RF）输出确定装置包括：RF电源；传感器，该传感器利用第一电缆和第二电缆连接RF电源；虚拟负载，该虚拟负载利用第一电缆连接传感器；及输出值确定部，该输出值确定部基于通过第二电缆获得的信号数据，确定RF电源的RF输出，其中该RF输出考虑了向虚拟负载提供的电力在第一电缆中损失的值。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

本文源自：市场资讯

作者：情报员