国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“磁场控制装置、磁场控制方法以及基板处理装置”的专利，公开号CN122314566A，申请日期为2025年10月。

专利摘要显示，本发明提供一种可以有效地调节处理空间内部的磁场的磁场控制装置、磁场控制方法以及基板处理装置。根据本发明的用于在利用等离子体的基板处理装置中控制基板的处理空间中的磁场分布的磁场控制装置包括：内磁场控制模组；以及外磁场控制模组，位于所述内磁场控制模组的外侧。所述内磁场控制模组包括：基底板；第一线圈单元，配置于所述基底板的上方；第二线圈单元，在所述基底板的上方配置于所述第一线圈单元的外侧；第三线圈单元，配置于所述第二线圈单元的上方；空气引导部件，在所述第三线圈单元的内侧设置于所述第一线圈单元的上方；以及空气风扇单元，配置于所述空气引导部件的上方，并使冷却用空气朝向所述空气引导部件而流入。

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作者：情报员