国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“基板处理装置”的专利，公开号CN122314728A，申请日期为2025年10月。

专利摘要显示，本发明涉及一种通过电磁体单元调节等离子体密度分布的基板处理装置，涉及一种利用可变磁芯而调节磁场的强度以及分布，基于通过第一磁场测量传感器以及第二磁场测量传感器在事先构建的磁场分布图调节在基板处理工艺时在基板上形成的磁场，能够诊断电磁体单元的状态的基板处理装置。

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作者：情报员