ASM申请形成金属磷氮层结构体及阈值电压偏移层方法专利,实现阈值电压偏移层的形成
金融界
·北京
·金融界网站官方账号 优质财经领域创作者
国家知识产权局信息显示,ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“形成在基材上的金属、磷和氮层结构体及包括所述层结构体的阈值电压偏移层的方法”的专利,公开号CN122318739A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,公开了形成金属、磷和氮层结构体的方法。所述方法包括执行原子层沉积工艺的一个或多个沉积循环,所述原子层沉积工艺包括引入金属前体和磷前体。进一步公开了形成包含金属、磷和氮层结构体的阈值电压偏移层的方法。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
热门跟贴