细美事申请晶圆键合装置以及晶圆固定模块专利,可以以多点支撑的方式支撑于框架
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国家知识产权局信息显示,细美事有限公司申请一项名为“晶圆键合装置以及晶圆固定模块”的专利,公开号CN122318809A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本发明提供一种晶圆键合装置以及晶圆固定模块,包括:框架;第一固定模块,形成于所述框架的一部分,固定有第一晶圆;以及第二固定模块,以使第二晶圆粘接至所述第一晶圆的方式固定所述第二晶圆,以与所述第一固定模块对应的方式形成;所述第一固定模块形成为整体上与所述框架隔着间隔,并且可以以多点支撑的方式支撑于所述框架。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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