国家知识产权局信息显示,杭州富芯半导体有限公司申请一项名为“一种硅片表面有机物的表征方法”的专利,公开号CN122330462A,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,本发明提供了一种硅片表面有机物的表征方法,该方法通过按照第一预设升温速率自常温升温至第一温度对待表征的硅片表面的有机物碳化处理,然后按照小于第一预设升温速率的第二预设升温速率继续升温至第二温度以使硅片表面发生碳硅成核,按照小于第二预设升温速率的第三预设升温速率再次升温处理以使硅片表面形成具有特定损伤类型的目标晶体损伤区,对硅片表面进行扫描、识别并定位晶体损伤区,利用扫描电子显微镜确定硅片表面上的晶体损伤区中具有碳原子侵入硅晶体中形成的典型缺陷的目标晶体损伤区,并表征具有典型缺陷的晶体损伤区的特征参数,从而实现对硅片表面微量有机物的有效表征。
天眼查资料显示,杭州富芯半导体有限公司,成立于2019年,位于杭州市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本945000万人民币。通过天眼查大数据分析,杭州富芯半导体有限公司参与招投标项目36次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息372条,此外企业还拥有行政许可27个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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