国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种静电吸盘组件及等离子刻蚀设备”的专利，公开号CN122341144A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本申请涉及一种静电吸盘组件及等离子刻蚀设备，其中，静电吸盘组件包括吸盘部和扩展部，扩展部为环形结构并可拆卸连接于吸盘部的周侧；吸盘部设有冷却流道和气道，吸盘部的表面形成吸附面；扩展部的表面形成扩展面，扩展部与吸盘部在安装状态下，扩展面与吸附面共面。经静电吸盘组件设置为可拆卸连接的吸盘部和扩展部，能够简化静电吸盘的切换操作，提高切换效率并降低成本。

天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本19584.6238万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目272次，财产线索方面有商标信息36条，专利信息540条，此外企业还拥有行政许可14个。

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作者：情报员