国家知识产权局信息显示,深圳瑞纳电子技术发展有限公司申请一项名为“堆叠光波导结构及其形成方法”的专利,公开号CN122331053A,申请日期为2026年5月。
专利摘要显示,本发明公开一种堆叠光波导结构及其形成方法,所述方法包括:提供半导体基板;在所述半导体基板上形成光波导管线凹槽、光束导入凹槽以及光束导出凹槽;在所述凹槽内壁形成第一金属反射层,并填充第一导光介质;在所述第一导光介质上形成第二金属反射层并开窗,形成光束导入接头与光束导出接头;将所述半导体基板倒扣键合至载片基板并进行背面减薄;去除多余金属后形成第三金属反射层;重复上述步骤制备多层光波导结构,并通过第三金属反射层实现垂直对准与直接键合,形成堆叠光波导结构。
天眼查资料显示,深圳瑞纳电子技术发展有限公司,成立于2005年,位于深圳市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本50万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳瑞纳电子技术发展有限公司共对外投资了3家企业,财产线索方面有商标信息6条,专利信息20条,此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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