国家知识产权局信息显示,江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“晶圆吹扫装置和晶圆处理系统”的专利,公开号CN122341102A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本申请涉及一种晶圆吹扫装置和晶圆处理系统。晶圆吹扫装置包括:导流管道,导流管道被配置为用于连通流体源;导流组件,导流组件包括第一流体管和流体释放件,流体释放件的内部具有释放通道,其中,流体释放件与第一流体管转动连接,流体释放件的释放通道通过第一流体管与导流管道的内腔连通。晶圆处理系统包括晶圆吹扫装置。晶圆吹扫装置通过气体的吹扫可以减少晶圆表面的颗粒物,从而避免颗粒物影响晶圆的性能,提高晶圆制造产线的产品良率。
天眼查资料显示,江苏微导纳米科技股份有限公司,成立于2015年,位于无锡市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本46115.7283万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目57次,财产线索方面有商标信息89条,专利信息692条,此外企业还拥有行政许可69个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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