国家知识产权局信息显示，北京华卓精科科技股份有限公司申请一项名为“静电卡盘装置”的专利，公开号CN122341147A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本申请涉及半导体加工设备相关技术领域，公开了一种静电卡盘装置，包括导体基座、吸附层、绝缘承载层和连接件，吸附层设置于导体基座的一侧，包括介电部件和设置于介电部件的内部的电极；绝缘承载层层叠设置于吸附层背离导体基座的一侧，绝缘承载层背离吸附层的一侧用于承载工件；连接件设置于吸附层与绝缘承载层之间，且连接件与绝缘承载层连接，并被绝缘承载层覆盖；导电部件贯穿吸附层的介电部件，并与电极间隔设置，导电部件的一端与连接件导电连接，导电部件的另一端与导体基座导电连接。降低了静电卡盘装置或者工件电荷积累的可能，提高了工件被吸附夹持于静电卡盘装置或从静电卡盘装置被释放的效率和方便性。

天眼查资料显示，北京华卓精科科技股份有限公司，成立于2012年，位于北京市，是一家以从事互联网和相关服务为主的企业。企业注册资本27466.9348万人民币。通过天眼查大数据分析，北京华卓精科科技股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目128次，财产线索方面有商标信息41条，专利信息682条，此外企业还拥有行政许可95个。

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作者：情报员