国家知识产权局信息显示,上海新微半导体有限公司申请一项名为“HEMT器件外延、HEMT器件及其制备方法”的专利,公开号CN122340854A,申请日期为2026年4月。
专利摘要显示,本发明提供一种HEMT器件外延、HEMT器件及其制备方法,该制备方法包括提供叠层结构,叠层结构包括衬底、位于衬底上的沟道层和位于沟道层上的势垒层;采用MOCVD工艺于势垒层上形成Mg掺杂p‑GaN层,通过在形成Mg掺杂p‑GaN层的过程中引入碳掺杂源,碳掺杂源中的碳元素与Mg掺杂p‑GaN层中的Mg元素复合形成钉扎中心,改变Mg元素扩散动力学,抑制Mg元素的扩散,且同时保证器件的性能和可靠性;同时控制碳元素的掺杂浓度小于Mg元素的掺杂浓度,从而在抑制Mg元素扩散的同时,维持Mg掺杂p‑GaN层的空穴浓度和低阻特性。
天眼查资料显示,上海新微半导体有限公司,成立于2020年,位于上海市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本270950万人民币。通过天眼查大数据分析,上海新微半导体有限公司参与招投标项目863次,财产线索方面有商标信息5条,专利信息168条,此外企业还拥有行政许可98个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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