国家知识产权局信息显示,浙江富乐德石英科技有限公司申请一项名为“一种石英玻璃制品表面处理方法”的专利,公开号CN122322962A,申请日期为2026年4月。

专利摘要显示,本发明公开了一种石英玻璃制品表面处理方法,属于石英玻璃制品表面处理技术领域,包括依次进行的常规表面处理、机械抛光处理和化学机械抛光处理,常规表面处理使石英玻璃制品表面粗糙度Ra降至300nm以下,机械抛光处理使粗糙度Ra降至15nm以下,化学机械抛光处理使粗糙度Ra降至5nm以下。本发明通过梯度化表面处理消除石英玻璃制品的表面及亚表面缺陷,强化表面完整性,使制品在含氟等离子体刻蚀环境下刻蚀均匀,大幅提升使用寿命;本方法无涂层加工步骤,生产成本低,且使用过程中无难挥发颗粒产生,提升了芯片制程良率。

天眼查资料显示,浙江富乐德石英科技有限公司,成立于2020年,位于衢州市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本19511万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江富乐德石英科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目14次,专利信息150条,此外企业还拥有行政许可9个。

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作者:情报员