国家知识产权局信息显示,温州核芯智存科技有限公司申请一项名为“一种应用于沉积装置的防冷凝输送结构及其方法”的专利,公开号CN122327189A,申请日期为2026年5月。
专利摘要显示,本发明涉及一种应用于沉积装置的防冷凝输送结构及其方法,包括,管路接头,管路接头的顶部设有气动阀门,管路接头的两侧设有用于输送气体的管路主体;防护外壳,防护外壳同轴连接于管路主体;柔性加热元件,呈螺旋均匀地缠绕在管路主体外表面;保温层,填充于管路主体与防护外壳之间;嵌入式加热件,嵌入式加热件设于管路接头和气动阀门的连接处;温控模块,与柔性加热元件和嵌入式加热件电性连接并独立控温;本发明主要目的在于采用分段独立控温方式,针对管路主体和气动阀门散热特性设置不同的温度补偿区间,消除输送结构各个部位的冷却点,避免因局部过冷而导致前驱体发生冷凝结晶的现象,保证薄膜沉积的批次重复性与良率。
天眼查资料显示,温州核芯智存科技有限公司,成立于2022年,位于温州市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本637.5万人民币。通过天眼查大数据分析,温州核芯智存科技有限公司参与招投标项目8次,财产线索方面有商标信息5条,专利信息47条,此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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