国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种离子源栅网结构及其控制系统、离子束刻蚀系统”的专利，公开号CN122337953A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本申请公开了一种离子源栅网结构及其控制系统、离子束刻蚀系统，涉及半导体技术领域，该离子源栅网结构通过在第一栅网和第二栅网两者中的至少一者上设置电压微调结构，电压微调结构包括电介质层和电压微调栅，电压微调栅上的过孔与第一栅网上的过孔及第二栅网上的过孔相连通，从而可以对第一栅网上的电压微调栅上施加相对于第一栅网的电压差，改变局部第一栅网对离子束的拉出电场分布；和/或，可以对第二栅网上的电压微调栅施加相对于第二栅网的电压差，改变局部第二栅网对离子束的加速电场分布；等效于改变局部第一栅网和第二栅网之间的电压差，以对引出的离子束密度进行小范围调节，便于引出均匀的离子束，保障刻蚀工艺的均匀性和稳定性。

天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本19584.6238万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目272次，财产线索方面有商标信息36条，专利信息562条，此外企业还拥有行政许可14个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

本文源自：市场资讯

作者：情报员