国家知识产权局信息显示,盖泽精密科技(苏州)有限公司取得一项名为“一种中空的晶圆检测平台”的专利,授权公告号CN224460549U,申请日期为2025年6月。
专利摘要显示,本实用新型提供一种中空的晶圆检测平台,包括检测盒、检测台、检测仪,检测盒为一个中空的盒体,其内部设有检测台,检测台用于装载晶圆,检测台上设有驱动晶圆旋转的旋转机构,检测盒内还设有驱动检测台移动的移栽机构,且检测盒顶部设有上检测口,底部设有下检测口,检测仪为光谱检测仪,包括两组光路,其中一组光路从上检测口射入经晶圆表面反射回上检测口,用于检测晶圆的外延膜厚,另一组光路从上检测口射入,透射晶圆后从下检测口出检测盒,用于检测晶圆的元素浓度。本实用新型一次检测能同时完成外延膜厚检测及元素浓度检测,简化了设备及晶圆检测工序,降低了设备成本,提高了生产效率。
天眼查资料显示,盖泽精密科技(苏州)有限公司,成立于2021年,位于苏州市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本1040.9356万人民币。通过天眼查大数据分析,盖泽精密科技(苏州)有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目2次,财产线索方面有商标信息18条,专利信息55条,此外企业还拥有行政许可5个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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