国家知识产权局信息显示,广东芯粤能半导体有限公司取得一项名为“一种承载装置和晶圆测试设备”的专利,授权公告号CN224456821U,申请日期为2025年6月。

专利摘要显示,本申请提供了一种承载装置和晶圆测试设备,涉及半导体测试技术领域,本申请的承载装置主体上具有容纳探针卡及供气件的安装窗口,主体内具有回流气道,安装窗口的腔壁上具有气路回流口,气路回流口与回流气道相通;主体还包括与真空设备相连的真空吸附口,真空吸附口经回流气道与气路回流口连通。本申请在探针卡中心吹出气体时,打开真空设备即可在回流气道内形成负压,气体流向负压方向,极大地降低了晶圆表面与翘曲底部压力差,避免了因压力差而导致的晶圆偏移风险;同时由于风量较小风压较低,机台内部腔体气体增加与逸散量接近,减少了机台内部腔体气体回流,减少污染颗粒带起回流至晶圆表面问题,提高了洁净度。

天眼查资料显示,广东芯粤能半导体有限公司,成立于2021年,位于广州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本45793.1035万人民币。通过天眼查大数据分析,广东芯粤能半导体有限公司参与招投标项目49次,财产线索方面有商标信息6条,专利信息111条,此外企业还拥有行政许可102个。

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作者:情报员