国家知识产权局信息显示,上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“MOS器件的集成结构的高压工艺制造方法”的专利,公开号CN122340890A,申请日期为2025年1月。

专利摘要显示,本发明公开了一种MOS器件的集成结构的高压工艺制造方法,在沉积栅极多晶硅及第一掩膜层后,通过第一栅极光罩首先定义中压器件栅极结构区图形,通过独立光罩,中压器件栅极结构进行刻蚀,保证去除中压器件栅极结构区之外的中压器件区的栅介质层,暴露硅衬底上表面;在沉积第二侧墙材料层后,通过目标区域全面刻蚀形成高压器件栅极结构的正常侧墙,并使中压器件侧墙增厚,节省了一层侧墙形成光罩,中压器件栅极结构左右两侧的源漏区处硅衬底没有栅介质层覆盖,后续不需要单独进行中压器件形成区域的栅介质层去除工艺,节省了一道中压器件形成区域的栅介质层去除光罩。

天眼查资料显示,上海华力集成电路制造有限公司,成立于2016年,位于上海市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2960000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海华力集成电路制造有限公司参与招投标项目2089次,专利信息2824条,此外企业还拥有行政许可544个。

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作者:情报员