（来源：北方华创）

工业和信息化部日前正式发布“2026年度工业母机创新产品典型案例名单”，北方华创凭借自主研发取得的多项真空核心技术成果入选。这是对公司长期专注真空技术攻关、服务国家关键产业链的充分肯定，彰显了公司在高端真空装备领域的强大技术实力。

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工业母机是“制造机器的机器”，是现代化产业体系的核心基石，其技术水平直接决定国家的工业竞争力与产业安全。此次遴选由工信部装备工业发展中心组织实施，旨在挖掘并推广具有行业引领性的创新产品。

北方华创本次入选的成果来自真空新能源装备事业群，涵盖核心工艺装备与测试评价平台两大方向。

在核心工艺装备方面：面向“三航两机”领域的真空高压气淬炉关键零部件全面采用国产品牌，以安全可靠的供应链能力满足单晶叶片等高精密部件热处理需求；曲面物理气相沉积（PVD）镀膜设备适用于复杂曲面零部件的镀膜工艺，填补了大型航空曲面特征件在高效、高结合力、高均匀性镀膜方面的技术空白。

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在测试评价平台方面，大型复杂腔室真空系统与多腔室真空系统两大测试评价平台同步入选。前者填补了我国复杂工况下真空系统综合评价能力的空白，为国产核心部件提供关键验证手段；后者突破多腔室真空协同控制、高真空维持等关键技术，为下游企业提供国产化工艺验证与产业化方案。

北方华创真空新能源装备业务始终坚定服务国家战略，持续为中国先进制造筑牢高端装备根基。未来，北方华创将继续发挥在真空技术领域的平台化优势，深耕核心工艺与装备创新，为构建安全可靠的现代化产业体系贡献力量。北方华创致力于成为半导体基础产品领域值得信赖的引领者，推动产业进步，创造无限可能。

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