国家知识产权局信息显示,合肥晶合集成电路股份有限公司申请一项名为“晶圆的量测方法及系统”的专利,公开号CN122349353A,申请日期为2026年6月。

专利摘要显示,本发明提供了一种晶圆的量测方法及系统,涉及半导体技术领域。该方法包括步骤:获取量测画面中晶圆表面的形貌数据,所述形貌数据至少包括有高度数据;基于所述高度数据,将晶圆表面划分出多个子区域;基于各子区域的所述高度数据,从预设的数据库中匹配对应的控制参数,所述控制参数至少包括有聚焦参数和像差补偿参数;对于每一所述子区域,根据其匹配的所述像差补偿参数进行像差补偿;对于每一所述子区域,根据其匹配的所述聚焦参数,对该子区域进行扫描以获取图像数据;将各子区域的所述图像数据进行拼接,得到合成图像。本发明能够有效改善晶圆表面高度差导致的成像模糊问题,提高扫描画面的清晰度,从而有效提高量测数据的准确性和可靠性。

天眼查资料显示,合肥晶合集成电路股份有限公司,成立于2015年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本200759.1697万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了13家企业,参与招投标项目647次,财产线索方面有商标信息54条,专利信息1721条,此外企业还拥有行政许可28个。

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作者:情报员