国家知识产权局信息显示,上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“节省高阻掩膜版的工艺集成方法及半导体结构”的专利,公开号CN122349246A,申请日期为2026年3月。
专利摘要显示,本发明提供一种节省高阻掩膜版的工艺集成方法及半导体结构。该结构包括半导体衬底、金属栅极、高阻电阻以及覆盖于其上方的刻蚀停止层和绝缘介质层,高阻区域高度低于器件区域高度。其方法包括:利用多晶硅前层工艺对高阻区域刻蚀减薄;依次形成高阻层和多晶硅层;沉积刻蚀停止层和绝缘介质层并平坦化,利用高度差使高阻区域上方保留介质层;进行伪多晶硅去除工艺,利用保留的介质层作阻挡层以形成高阻电阻。本发明无需额外高阻掩膜版即可实现高阻电阻的图形化,大幅降低了光罩成本和制造成本,缩短了生产周期,并改善了平坦化中的碟形凹陷问题。
天眼查资料显示,上海华力集成电路制造有限公司,成立于2016年,位于上海市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2960000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海华力集成电路制造有限公司参与招投标项目2089次,专利信息2824条,此外企业还拥有行政许可544个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
热门跟贴