国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“使用3D堆叠带电粒子束检查图像的中轴检测屈服临界缺陷”的专利，公开号CN122374783A，申请日期为2024年11月。

专利摘要显示，一种用于检测样品中的缺陷的装置包括存储指令集的存储器和至少一个处理器，所述至少一个处理器被配置为执行所述指令集以使所述装置执行：获取多个图像，其中每个图像是要检验的位置；分割所述多个图像中的每个图像；将所述多个分割图像堆叠为三维（3D）体积；计算所述3D体积的中轴；基于所计算的中轴来生成所述3D体积的中轴骨架；以及评估所述中轴骨架以确定所述样品中是否存在任何检测到的缺陷。

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作者：情报员