国家知识产权局信息显示,无锡特隆光芯科技有限公司申请一项名为“工艺溶液过滤装置”的专利,公开号CN122351903A,申请日期为2026年1月。
专利摘要显示,本发明涉及一种工艺溶液过滤装置,该工艺溶液过滤装置能够有效去除用于半导体制造工艺的工艺溶液中包含的凝胶颗粒。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
国家知识产权局信息显示,无锡特隆光芯科技有限公司申请一项名为“工艺溶液过滤装置”的专利,公开号CN122351903A,申请日期为2026年1月。
专利摘要显示,本发明涉及一种工艺溶液过滤装置,该工艺溶液过滤装置能够有效去除用于半导体制造工艺的工艺溶液中包含的凝胶颗粒。
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